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一种SiC欧姆接触结构

4102018/08/09
基本信息
  • 成果类型 高等院校
  • 委托机构 西安电子科技大学
  • 成果持有方 西安电子科技大学
  • 行业领域 电子元器件
  • 项目名称 一种SiC欧姆接触结构
  • 知识产权 发明专利
  • 项目简介 本实用新型涉及一种SiC欧姆接触结构,包括:SiC衬底11;第一Ni层12,设置于所述SiC衬底11上;Ti层13,设置于所述第一Ni层12上;第二Ni层14,设置于所述Ti层13上;TaSi2层15,设置于所述第二Ni层14上;Pt层16,设置于所述TaSi2层15上。本实用新型提供的SiC欧姆接触结构提高了欧姆接触的热稳定性和抗氧化性能。
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交易信息
  • 意向交易额 面议
  • 挂牌时间 2018/03/30
  • 委托机构 西安电子科技大学
  • 联系人姓名 王小刚
  • 联系人电话 15802954800
  • 联系人邮箱 745490733@qq.com
  • 分享至:

产学研交流:15802954800

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